|
型號 |
M4 |
M6 mini |
M6 |
|
|
外形（長*寬*高） |
650*490*620mm |
650*490*620mm |
650*490*620mm |
|
|
重量（KG） |
約45kg |
約47kg |
約52kg |
|
|
電力需求 |
220VC,50~60Hz |
|||
|
卡盤 常溫標準 |
卡盤尺寸 |
4" |
6" |
6" |
|
樣品固定方式 |
環形真空吸附（可定制多孔吸附） |
|||
|
背電極測試功能 |
有/樣品臺電學獨立懸空 |
|||
|
卡盤材質 |
不銹鋼/銅鍍鎳或鍍金
|
|||
|
卡盤 移動平臺 |
X-Y行程 |
100*100mm |
150*150mm |
150*150mm |
|
移動精度 |
||||
|
Theta行程 |
360°旋轉（粗調）；微調范圍±8°，微調精度0.002° |
|||
|
卡盤升降 |
N/A |
|||
|
卡盤快速拉出 |
N/A |
|||
|
控制方式 |
小型旋鈕驅動 |
|||
|
針座平臺 |
平臺尺寸 |
長540mm*寬310mm |
||
|
卡盤到平臺距離 |
8mm（卡盤上表面與針座平臺下表面） |
|||
|
針座數量 |
||||
|
針座平臺升降 |
N/A |
|||
|
針座定位方式 |
磁力吸附或真空吸附 |
|||
|
光學特性 |
顯微鏡規格 |
標配體視顯微鏡（可選配視頻顯微鏡） |
||
|
放大倍數 |
16~100X |
|||
|
CCD像素 |
3種CCD可選:200W（數字）/500W（數字）/650W（數字） |
|||
|
顯微鏡控制行程 |
顯微鏡調焦架控制可360度旋轉，Z軸：50.8mm |
|||
|
顯微鏡移動精度 |
N/A |
|||
|
鏡頭切換方式 |
N/A |
|||
|
點針規格 |
X-Y-Z行程 |
12mm-12mm-12mm |
||
|
機械精度 |
10μm/2μm/0.7μm |
|||
|
漏電精度 |
同軸1pA/V @25℃；三軸100fA/V @25℃; 三軸10pA@3kv @25°C，
測試條件：接地屏蔽的干燥環境（空氣露點低于-40°C）
|
|||
|
接口形式 |
香蕉頭/鱷魚夾/同軸/三軸接口 |
|||
